研究人員找到了提高激光加工分辨率的新方法

通過透明玻璃聚焦定制的激光束可以在材料內(nèi)部產(chǎn)生微小的光斑。東北大學(xué)的研究人員報(bào)告了一種利用這個(gè)小光斑來改善激光材料加工、提高加工分辨率的方法。

他們的研究結(jié)果發(fā)表在《光學(xué)快報(bào)》雜志上。

激光加工與鉆孔和切割一樣，在汽車、半導(dǎo)體和醫(yī)藥等行業(yè)至關(guān)重要。超短脈沖激光源的脈沖寬度為皮秒至飛秒，可實(shí)現(xiàn)微米至數(shù)十微米尺度的精密加工。但最近的進(jìn)展需要更小的尺寸，低于 100 納米，這是現(xiàn)有方法難以實(shí)現(xiàn)的。

研究人員專注于具有徑向偏振的激光束，即矢量光束。該光束在焦點(diǎn)處產(chǎn)生縱向電場(chǎng)，產(chǎn)生比傳統(tǒng)光束更小的光斑。

科學(xué)家們發(fā)現(xiàn)這一過程對(duì)于激光加工來說很有前景。然而，一個(gè)缺點(diǎn)是，由于空氣-材料界面處的光折射，該場(chǎng)在材料內(nèi)部減弱，限制了其使用。

東北大學(xué)先進(jìn)材料多學(xué)科研究所 (IMRAM) 副教授 Yuichi Kozawa 感嘆道：“我們采用油浸物鏡(生物顯微鏡中常見的東西)來激光加工玻璃基板，克服了這個(gè)問題。”紙。 “因?yàn)榻秃筒ＡУ恼凵渎蕩缀跸嗤?，所以穿過它們的光不會(huì)彎曲。”

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